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ATLEX-I高重频*
新一代紧凑型风冷式，高重复率的*，专为低、中占空比应用设计。
高重频*主要特点
ª 超快电晕预电离技术
ª HV-固态脉冲发生器
ª 激光腔体<3L
ª 全新技术的金属陶瓷腔
ª 集成真空泵和卤素过滤器
ª 全部风冷，温度控制
ª 系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
ª 方便清洗的光学镜架
ª 能量稳定模式
ª 符合欧洲CE标准
ª RoHS认证
应用
ª 微加工
ª 激光烧蚀
ª 医学（屈光手术）
ª 光谱学
ª 计量
技术规格
气体介质 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波长 | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | nm |
高压开关技术 | 固态开关 | |||||
大脉冲能量 1 | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | mJ |
大平均功率 ATLEX-300-I ATLEX-500-I |
0.2 0.5 |
2.4 4.0 |
4.0 6.5 |
2.0 3.0 |
1.7 2.5 |
W W |
大重复频率 ATLEX-300-I ATLEX-500-I |
300 500 |
Hz Hz | ||||
脉冲宽度 2 | 5 – 8 | ns | ||||
光斑尺寸 2 (V x H) | 4 x 6 | mm | ||||
光束发散角 2 (V x H) | 1 x 2 | mrad | ||||
能量稳定性 (标准差) | < 3 | % | ||||
尺寸 (L x W x H) | 540 x 470 x 370 | mm | ||||
重量 | 60 | kg | ||||
冷却方式 | 风冷 |
| ||||
电源要求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
| ||||
所有规格都是典型的数据，如产品有改进，恕不另行通知更改。
1 在低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值, FWHM。
