TC-Wafer高低温探针台高精度晶圆测温系统

高低温探针台的重要性

      高低温探针台是一种能够在不同温度条件下对晶圆进行测试的设备。在晶圆制造的各个阶段，温度的变化都会影响到器件的性能和稳定性。

高低温探针台通过使用高精度的温度传感器，能够在不同的温度范围内实时测量晶圆的温度。

市面上典型的晶圆高低温测试通常涵盖温度范围从 -45°C 至 150°C，而在晶圆可靠性测试中，温度可能高达 300°C。然而，随着探针台进行温度变化，由于热膨胀和冷收缩效应，探针与卡盘之间可能会出现热漂移，从而影响探针与 PAD 点之间的对准，增加晶圆探针测试的难度。更有一些晶圆测试要求在**温度环境下，甚至达到 500°C 以上。随着温度的升高，探针台也将面临更大的温度范围测试压力。

      智测电子TC-Wafer高低温探针台高精度晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台，测量精度可达mk级别，可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值，也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况，还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。致力于泛半导体**传感器制造商的研发和制造，产品用户包含国内半导体设备商和芯片制造厂等。

智测电子还提供整个实验室过程的有线温度计量，保证温度传感器的长期测量精度。

合肥智测电子致力于高精度温测、温控设备的生产和研发定制，为半导体设备提供可靠的国产解决方案。

TC-Wafer高低温探针台高精度晶圆测温系统