产品描述

蔡司EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。MA 10用于材料领域,LS 10用于生命科学领域。该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界的X射线分析技术。Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。

产品应用

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等 检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分 析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶 粒取向测量。

技术参数

• 分辨率： 3.0nm@ 30KV(SE and W)  4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 
• 加速电压：0.2—30KV
• 放大倍数：7—1000000x 
• 探针电流：0.5PA-5μA
• X-射线分析工作距离：8.5mm    35度接收角
• 低真空压力范围：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)
• 工作室：310mm(φ)×220mm(h)
• 5轴优中心自动样品台：X=80mm  Y=100mm  Z=35mm  T=-10°- 90°R=360°
• 试样高度：100mm，试样直径：200mm
• 系统控制：基于Windows 7 的SmartSEM操作系统
• 存储分辨率为32,000 x 24,000 pixels