蓝宝石硅片超声波清洗机

FWA-30120TES蓝宝石硅片超声波清洗机

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2018-09-27 14:18:34
1719
属性：
产地:国产；销售区域:全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北；自动化程度:全自动；
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产品属性
产地
国产
销售区域
全国,华东,华南,华北,华中,东北,西南,西北
自动化程度
全自动
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苏州富怡达超声波有限公司

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产品简介

FWA-30120TES蓝宝石硅片超声波清洗机提篮入槽、出槽及槽位间传递均由智能机械臂自动操作完成。机台的上下料由人工完成。

详细介绍

 1进料→超声波清洗→超声波清洗→超声波清洗→超声波漂洗→出料
 2 清洗目的：去除工件加工过程中残留的油污及粉屑
 3清洗介质：水+脱脂剂
 4清洗对象：晶圆
 5 设备流向：从右至左，进出料口设在设备正面，采用垂直进出料方式。

4.  工作节拍：

4.1以提篮为片盒载具入槽进行处理，每槽同时处理一个提篮，提篮规格为560×465×200nn,采用8mm不锈钢元棒焊接制作，，每个2吋提篮可装载2吋晶片21盒（525片）、每个4吋提篮可装载4吋晶片12盒（300片）。每个片盒放置25个晶片

4.2提篮入槽、出槽及槽位间传递均由智能机械臂自动操作完成。机台的上下料由人工完成。

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