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μ级进给磨削，经面磨削轻易达到（Ry0.3μm以内）,保证机械上下跟踪精度及原精度±0.001mm以内（10年）。
产品特征：
1超精密成形平面磨床
2.产品制作技术及外购件日本长岛精工株式会社提供
3.上下及前后两轴高精度光栅尺（0.0001mm）全闭环数控系统
4.全部导轨面及接触面人工刮研，
5.保证机械上下跟踪精度及原精度±0.001mm以内（10年）
6.μ级进给磨削，经面磨削轻易达到（Ry0.3μm以内）
产品规格：
| 项 目 | 单 位 | NP520-F.MD | NP415-F | ||||
| 性能 | 工作台面工作尺寸（长 × 宽） | mm | 540×180 | ||||
| 工作台移动量 | 左右 | mm | 650 | 230 | |||
| 前后 | mm | 230 | 190 | ||||
| 电永磁吸盘尺寸 | mm | 500×200 | 平行400×150 可倾式380×120 | ||||
| 工作台面到砂轮主轴中心高度 | mm | 1030 |
| ||||
| 地面距工作台高度 | mm | 1030 | |||||
| 可承受加工物件重量 | kg | 100 | |||||
| 工作台 | T 型槽尺寸 × 槽数 | mm | 12×1 | ||||
| 工作方式 | 标准配置 |
| 手动及液压伺服自动转换 | ||||
| 标准配置 |
| 具有自动低速启动功能 | |||||
| 左右方向移动速度 | m/min | 0 ～25 | |||||
| 工作台 | 机械式手轮进给 | 手轮旋转１周 | mm | 4 | |||
| 小手轮最小刻度值 | mm | 0.01 | |||||
| 最小显示值 | mm | 0.0001 | |||||
| 前后自动进给伺服电机 | 连续速度 | mm/min | 0 ～ 600（无极变速） | ||||
| 间断进给 | 进给位置 |
| 两端或工作台右侧单边 | ||||
| 进给量 | mm | 0 ～ 7 | |||||
| 高精度光栅尺 | 标准配置 |
| 0.0001 | ||||
| 全闭环定位功能 | 标准配置 | mm | 0.0001 | ||||
| 磨头 | 移动量 | mm | 400 | ||||
| 快速升降速度 | mm/min | 600 | |||||
| 手动进给伺服电机 | 方式 |
| 电子手轮 3 档倍率切换 | ||||
| 手轮旋转１周 | mm |
| |||||
| 最小进给量 | mm |
| |||||
| 自动进给 | 总进给量 | μm | 任意量设定 | ||||
| 精磨开始量 | μm | 任意量设定 | |||||
| 每次进给量 | 上段 | μm | 各段 0.1，0.2，0.3，0.5，0.7，1，1.5，2，3，5，7，10，15，20 | ||||
| 中段 | |||||||
| 下段 | |||||||
| 方式 | 切入磨削 |
| 单侧进给或工作台两端进给 | ||||
| 平面研 |
| 前后两端进给 | |||||
| 无火花研磨次数 | 往复 | 0, 1, 2, 4, 6 | |||||
| 高精度光栅尺 | 标准配置 | mm | 0.0001 | ||||
| 控制系统显示值 | 标准配置 | mm | 0.0001 | ||||
| 固定循环 | 标准配置 | 快速进给－粗磨－精磨－返回 | |||||
| 粗－中－精－返回 | |||||||
| 磨头上部平衡自动修整 | MD型标准配置 | 总修整量及平时砂轮外周位置显示功能 | |||||
| 间隔 | μm | 0～999 | |||||
| 每次修整量 | μm | 0～99 | |||||
| 修整次数 | 回 | 0～9 | |||||
| 修整器修整量 | μm | 0～99 | |||||
| 砂轮 | 使用尺寸 | mm | φ255×φ50.8× 宽25 | ||||
| 转速 | rpm | 0 ～ 3600 （无级变速） | |||||
| 电动机 | kw | 2.2kw 4P | |||||
| 润滑方式 | 标准配置 |
| 全自动润滑（自动检测油量不足） | ||||
| 砂轮卡盘锥度 |
| φ33×1/6 | |||||
| 机床面积 长 × 宽 | mm | 2300×1700 | |||||
| 机床重量 | kg | 约 2000 | |||||
