海德汉/Heidenhain 品牌
经销商厂商性质
天津市所在地
TNC 530/TNC 620读数头SMA-3B-MU 580.104.888-SCHNEEBERGER
面议7602035-TVP-EFAG轴承22326-E1-XL-T41D,22330-E1-XL-T41D
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面议CSW-43-120-2Z-TROLLON滚轮滑块CSW43-150,CS430150B0RA
面议6860-14M-85MM盖茨GATES皮带XPZ1900/3VX750,775-5GT-40
面议
一种外差光栅位移测量装置,包括光源、读数头、光电接收模块和信号处理系统,光源用于产生两束重合、偏振正交且具有固定频差的偏振光;读数头用于接收两束偏振光,并分别入射到移动的测量光栅的表面生成分别包括偏振光分量与第二偏振光分量的+1级衍射光和‑1级衍射光,+1级衍射光和‑1级衍射光分别经读数头入射到光电接收模块;光电接收模块用于接收+1级衍射光的偏振光分量和第二偏振光分量及‑1级衍射光的偏振光分量和第二偏振光分量形成两路拍频信号;信号处理系统用于对两路拍频信号进行差分计算,实现测量光栅单次衍射4倍光学细分的位移测量