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heidenhain光栅磁栅尺689694-07;LC 115 740

机电一体化中的导向装置一般是指导轨，导轨由运动件和承导件组成。机械时，由导轨副保证执行件的正确运动轨迹。并且导轨副也影响着执行件的运动特性。

导轨作为导向装置，应当具有下列性能：

（1）导向精度主要指导轨运动轨迹的精确度。影响导向精度的主要因素有：导轨的几何精度和接触精度，导轨的结构形式，导轨及其支承件的刚度和热变形，静（动）压导轨副之间的油膜厚度及其刚度等。

（2）精度保持性主要由导轨的耐磨性决定。耐磨性与导轨的材料、导轨副的摩擦性质、导轨上的压及其分布规律等因素有关。

（3）刚度包括导轨自身刚度和接触刚度。主要取决于导轨的形状、尺寸与支承件的连接方式及受力状况等因素。

（4）低速运动性动导轨作低速运动或微量位移时易产生摩擦自激振动，即爬行现象。爬行会降低定位精度或增大被加工工件表面的粗糙度的值。 [1]

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光栅尺，也称为光栅尺位移传感器（光栅尺传感器），是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中，可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲，具有检测范围大，检测精度高，响应速度快的特点。例如，在数控机床中常用于对和工件的坐标进行检测，来观察和跟踪走刀误差，以起到一个补偿的运动误差的作用。光栅尺按照制造方法和光学原理的不同，分为透射光栅和反射光栅

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