小坂KOSAKA微细形状测定机(台阶仪）

产品描述：

 

与AFM 的差异主要是触针形状不同，ET(俗称Alpha-step)是R 2um/60度钻石制、AFM 是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都OK，差异是有些细微表面ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以AFM为主。

主要特性

一. 再现性与线性度

再现性• • • 可达0.1nm

线性度• • •针对不同厚薄样品，使用同一感度

二. 高解析度

高解析度• • •特别是针对thin film更佳

纵轴高解析度0.1nm

横轴高解析度0.01um

可测定微细形状

三. 低测定力

低测定力• • •效果可比拟非接触

测定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意设置

可测定软质材料面，如：ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等

四. 超高真直度

超高真直度• • •可测定试片之长距离测定

追溯性：通过认证工厂，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆检附出厂校正报告

高机械真直度精度保证：

局部0.005um/5mm、全域0.2um/100mm可测定试片之长距离测定,例如:平面度、波纹度、翘曲度、内应力等等

真直度保证• • •确保测定图形不受影响

五. 即时监控量测位置

即时监控量测位置• • •可易辨认微小样品

配备标准CCD：即时监控量测位置

可选购TOPVIEWCCD，执行高精度定位量测

六. 形状及粗度解析

形状及粗度解析

粗度规范对应：可对应各种新旧标准规范，测定参数多达60种

可测定段差及PITCH量测

七．可扩充成三次元设备

形状及粗度解析

粗度规范对应：可对应各种新旧标准规范，测定参数多达60种

可测定段差及PITCH量测

主要客户

高校及研究单位:机械、材料、化学、

光电、校正中心。

民间企业:光电(TFT、CF、STN、TP、

LED、OLED) and 半导体。

KOSAK ET 200主要规格：

技术参数：小坂KOSAKA微细形状测定机(台阶仪）

 

一、測定工件：

1. 大工件尺寸：φ160mm

2. 大工件厚度：50mm

3. 大工件重量：2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z方向測定範圍：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3. 測定力：min.1mgf,max.50mg

4. 觸針半徑：2 μm

5. 驅動方式：直動式

6. 再現性：1σ= 1nm

三、X 軸 (基準軸)：

1. 移动量(大測長)：100mm

2. 移動的真直度：0.2μm/100mm

3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s

4. 線性尺(linar scale)：分解能0.1μm

四、Z軸：

1. 移动量：50mm

2. 移動速度：max.2mm/S

3. 檢出器自動停止機能

4. 位置決定分解能：0.2μm

五、工件台：

1. 工件台尺寸：φ160mm

2. 機械手動倾斜： ± 1mm/150mm

六、工件觀察：

max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)

七、床台：

材質為花崗岩石

八、防振台(選購)：

落地型或桌上型

九、電源：

AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量：

W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震台)

小坂KOSAKA微细形状测定机(台阶仪）