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接触式激光量块干涉仪主要应用于高等级量块测量,具有*的测量重复性和稳定性,自动化程度高。
仪器采用特殊设计的柔性接触式测头进行精确定位,利用633nm激光,干涉法直接测量量块长度。测量时,量块无需与平晶研合,不需要预测值,直接获得测量结果。仪器配备高精度压力、湿度和温度传感器,自动进行折射率修正,测量数据自动保存打印。
接触式激光量块干涉仪可以二等量块的测量要求,其测量不确定度达到:(0.05+0.5L)μm,L被测长度,单位:米。
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