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直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。全新的IO模块，具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁，传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能，方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z轴行程，耐高温耐腐蚀特性等。
参数：
本体重量Body Weight | 50KG |
适用晶圆尺寸Wafer Size | 300mm/200mm/150mm/100mm |
负载Payload | 1KG |
电源输入Power Supply | AC电压:AC208V AC频率：50HZ/60HZ |
节拍Bear | 8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料，传输位置不同相关) |
动态偏差纠正精度(AWC) | ±0.1mm |
重复定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.003°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率Leak rate | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 5X10-9Torr |
适用温度 Applicable temperature | 法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃ |
洁净度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
复合运动 Compound motion | 支持Support |
PC远程操作软件 | 支持Support |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互锁IO interlock | 支持Support |
安全区Safe area | 支持Support |
碰撞保护 Collision protection | 支持Support |
认证Certification | SEMI S2 /SEMI F47/CE |
