超精密加工里程碑式的经典利器，贸易壁垒产品，中国*，北京海普瑞森自主研发

——机床特点

    加工元件表面粗糙度可达纳米级，口径zui大可达到350mm，可加工各种高精度平面、球面、非球面及离轴元件和自由曲面元件。可加工铜、铝、单晶锗、硒化锌、树脂、PMMA等材料。在三轴联动模式下还可加工离轴元件、柱面、子午面等非回转对称元件和自由曲面；配以特殊*可以实现微结构元件的加工，如各种衍射元件和菲涅尔透镜等。

——应用领域

    口径小于350mm的潜艇、舰船、航空观测用非球面镜头、红外成像类镜头的超精密加工。

    加工模具可以对高精度成像的非球面镜头进行注塑制作。

    加工铜、铝类反射镜，装备航天卫星上的成像观测用镜头，即卫星对地望远镜。

    加工铜、铝类自由曲面反射镜面，改变传统镜片设计理论，是激光等领域的镜片。

    加工后的表面粗糙度：7-10nm

    形位精度：0.3 μm

    加工的工件直径：5-350 mm

——机床配置

　  ● PA开放式操作系统；

　  ● 天然花岗岩基座，保证机床*稳定性；

　  ● 超精密高刚性空气静压主轴；

　  ● 超精密液体静压导轨，具有较好的刚性和阻尼性；

　  ● X/Z轴均采用直线电机驱动，全闭环控制；

　  ● 气浮支承隔振系统zui大的减少外界振动干扰；

——技术参数

   （1）Z轴

　　zui大行程： 210mm

　　直线度： 0.2μm/100mm

　　定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm

　　重复定位精度： 0.3μm

　　分辨率： 10nm

　　zui大进给速度： 20mm/s

   （2）X轴

　　zui大行程： 210mm

　　直线度： 0.2μm/100mm

　　定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm

　　重复定位精度： 0.3μm

　　分辨率： 10nm

　　zui大进给速度： 20mm/s

   （3）C轴

　　高精度气浮轴承回转精度 0.1μm

　　转速 0-3000rpm

　　转角定位精度 30″

　　转角重复性定位精度 10″