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型 号： FUNCTION 786
行 程： X轴
Y轴
Z轴
结构型式：移动桥式
传动方式：直流伺服系统+ 预载荷高精度空气轴承
长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm
机 台：高精度花岗岩平台
使用环境：温度（20±2）℃，湿度55%-65% ，温度梯度
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：
整机尺寸（LWH）：
机台承重：
空间测量精度：（3+L/300）μm
