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详细介绍

Function 系列

三轴导轨均采用高精密天然花岗岩，具有相同的温度特性及刚性
三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨*受磨损
单边驱动活动桥式结构，显著提高运动性能，确保测量精度及稳定性
Y轴采用整体燕尾式导轨，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度及稳定性
欧洲开放式金属光栅尺，分辨率0.4 um
控制系统采用欧洲高速高精度自动控制系统，该系统内嵌32位微处理器，真正实现实时控制
三轴均采用大功率驱动器、电机及双级减速装置，确保传动迅速、准确

	800	1000
机器型号	F10128	F121510	F122010	F122510	F123010
行程	1000	1200	1200	1200	1200
	1200	1500	2000	2500	3000
	800	1000	1000	1000	1000
外形尺寸	2370	2820	3320	3820	4320
	1694	1980	2100	2100	2100
	3150	3460	3750	3750	3750
承重	1200	2000	2000	2000	2000
机器重量	4000	5300	8500	10500	12500
MPEe（μm）	4 +L/300	5 +L/300	5 +L/300	7 +L/300	7 +L/300
MPEp（μm）	4.5	5.5	5.5	5.5	5.5
光栅尺分辨率（μm）	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4
空间移动速度（mm/s）	200	200	200	200	200
空间移动加速度（mm/S2）	450	450	450	450	450
流量/供气压力（μm）	150 NI/min. 0.45Mp	150 NI/min. 0.45Mp	150 NI/min. 0.45Mp	150 NI/min. 0.45Mp	150 NI/min. 0.45Mp
温度	20±2℃	20±2℃	20±2℃	20±2℃	20±2℃
湿度	45%-75%	45%-75%	45%-75%	45%-75%	45%-75%

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