型号

excel661um

excel661uc

excel662um

excel662uc

excel664um

excel664uc

测量行程

650x650x160mm

650x650x250mm

650x650x400mm

外形尺寸

1311x1604x1608mm

1311x1604x1788mm

1311x1604x2088mm

重量

1530kg

1550kg

1550kg

承载重量

100kg

100kg

100kg

平台材质

钢构

基座材质

花岗岩

传动方式

unique x&y monorail, monorail linear z

电控系统

伺服系统: cnc, 鼠标, 摇杆

电源系统

93-264 vac, 47-63 hz,zui大10 amp

xy 精度

uxy=2.5+l/300μm

uxy=2.8+l/300μm

uxy=3.2+l/300μm

z 精度

ux=2.5+l/150μm

ux=3.0+l/150μm

ux=3.5+l/150μm

xy 重现性

2.5μm

2.8μm

3.2μm

z 重现性

2.5μm

3.0μm

3.5μm

xy 加速度

1000mm/s2

z 加速度

500mm/s2

xy 移动速度

500mm/s

z 移动速度

150mm/s

光学尺分辨率

0.1μm

影像

黑白

彩色

黑白

彩色

黑白

彩色

光源

红光led

白光led

红光led

白光led

红光led

白光led

照明系统

表面光, 轮廓光,同轴光

光学系统/放大倍率

12x 光学/3x 数字 zoom / 15x~1200x 放大倍率

软件

inspec for windows metrology software（2000/xp/vista）

工作环境

20℃（68℉）±2°,30-80%湿度