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2．研磨盘修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行精密修整，得到理想的平面效果。
硅片双面研磨机特 点：
1．系列研磨机工件加压采用气缸加压的方式，压力可调；
2．系列研磨机采用PLC程控系统，触摸屏操作面板，研磨盘转速与定时可直接在触摸屏上输入。
硅片双面研磨机技术参数：
| 型 号 | YM-24LX-3Q | YM-30LX-3Q | YM-36LX-3Q | YM-48LX-3Q |
| 研磨盘（外径×内径） | ￠610mm×￠210mm | ￠760mm×￠260mm | ￠910mm×￠310mm | ￠1220mm×￠400mm |
| 修正轮（外径×内径） | ￠280mm×￠240mm,3个 | ￠360mm×￠310mm,3个 | ￠410mm×￠360mm,3个 | ￠510mm×￠470mm,3个 |
| 工件zui大加工尺寸 | ￠220mm, | ￠290mm | ￠333mm, | ￠430mm, |
| 工件加工平度 | 0.001 mm（￠220mm,） | 0.0015 mm（￠290mm） | 0.0015 mm（￠333mm,） | 0.002 mm（￠430mm,） |
| 主电机功率 | 2.2KW,380V,3相 | 3.7KW,380V,3相 | 7.5KW,380V,3相 | 11KW,380V,3相 |
| 研磨盘转数 | 0-80RPM | 0-80RPM | 0-60RPM | 0-40RPM |
| 加压气缸数量 | 3个 | 3个 | 3个 | 3个 |
| 气缸zui大加压 | 90kg | 130kg | 200kg | 300kg |
| 外形尺寸 | 1500mm×900mm×2100mm | 1500mm×900mm×2100mm | 1800mm×1500mm×2200mm | 2200mm×2000mm×2300mm |
| 设备重量 | 1300kg | 1400kg | 3000kg | 4500kg |
硅片双面研磨机如有任何业务问题请登陆咨询：:;/;:;:;：吴 。
