误差补偿技术是提高三坐标测量机精度的一项重要技术，但只有在一定条件下，它才能发挥其作用，这些条件包括如下几个。
    1）具有合适的数学模型 一种误差能否得到补偿，主要看能否对它建立合适的数学模型。没有合适的数学模型，或是误差不能得到有效的补偿，或是实现起来很困难，并难以获得经济效益。
    2）可补偿误差应占总误差的主要成分 由于采用的模型与补偿方法、检测手段等原因，不是所有误差都能得以补偿的，例如在采用简单热变形模型情况下，弯曲、扭曲热变形引起的误差不能得到补偿。短周期误差也较难补偿。此外，还要求三坐标测量机有较好的长期稳定性，否则误差数据经常变化也会使补偿失去意义。
    3）三坐标测量机应具有零位系统  例如采用零位光栅，使测量机在X、Y、Z三个方向都有零位。检测三坐标测量机的误差和对它进行补偿都应在以这一零位为原点的坐标系统中进行。
    4）数据处理系统应有足够的内存容量与响应速度 对内存容量一般要求不高，由几千字节至几十千字节即可满足要求，为实现误差补偿，数据处理速度应能满足测量要求，在采用硬件补偿时，补偿机构的响应速度也应能满足要求。
    5）经济上合算 即采用误差补偿的花费，包括误差检测费用、测温元件、建立零位、补偿软件或机构的费用等，比用其它方法达到同样的精度，费用要少。

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