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激光调阻机SET507系列技术参数
1.激光调阻机的激光器系统
激光波长:532nm/355nm
激光平均功率:7W
典型光斑尺寸: 15μm±3μm
实际切口取决于材料、光学器件和波长
冷却方式:风冷
对焦方式:计算机程序控制
2.激光调阻机的激光束定位系统
激光束运动范围:50mm X 50mm
重复定位精度:2μm
定位精度:±5μm
激光束zui小步进:0.76μm
3.激光调阻机的分步重复机械运动系统
运动方式:空气悬浮运动,无摩擦力
运动范围:290mm*260mm
zui大陶瓷基板尺寸:150mm*150mm(可根据要求定做)
运动分辨率:1μm
重复精度:2μm
定位精度:±15μm
zui大运动速度:500mm/s
4.激光调阻机的测量系统
激励方式:电流激励
恒流源:0.01μA~100mA计算机程控选择
电阻测量方式:四线制加电流测电压(可选择二线制)
直流电压测量:10mV~10V(满程电压)
电阻测量精度:低阻:<0.05%+0.5%/R (R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.5%R(R>0.1MΩ)
电阻测量范围: 0.1Ω-10MΩ
电阻测量速度:25μs
直流电压分辨率:0.16μV(在10mV满量程条件下)
探针板运动:计算机程序控制
5.激光调阻机的计算机及软件系统
工业控制计算机(双核),19寸液晶
操作系统:Windows XP
软件可编程,界面友好,功能强大
软件系统可免费升级和进行功能扩展
6.激光调阻机的图像监视系统
监视方式:激光同轴监视
监视视场:2-3mm(对角线)
显示屏:19寸液晶
7.激光调阻机其它技术指标
供电电压:220V AC
整机功耗:1200W
薄膜激光调阻机工艺
激光器的选择:
激光调阻机针对被修调电阻材料特性,选择合适波长的激光器,可提升切割效果,对于金属薄膜电阻,一般采用532um或355nm短波长激光可达到理想效果,有些金属薄膜电阻也可以采用。
激光调阻机应用和市场:主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、*科研、片式电阻等行业。