技术参数：
◇ 行    程：                   
X轴:700 mm
Y轴:1000 mm
Z轴:600 mm
◇ 结构型式：移动桥式
◇ 传动方式：直流伺服系统+ 预载荷高精度空气轴承
◇ 开放式光栅尺
◇ 机    台：高精度花岗岩平台
◇ 整机尺寸：950m m X1050m m X 2300m m
◇ 机台承重：500kg ，整机重量：1250 Kg
◇ 长度测量允许示值误差：MPEE= 4.5+L/200
◇ 允许探测误差(mm)： MPEP=4.5

环境条件要求：
◇ 测量机室温度要求
测量机室的温度: 18 - 22 °C
机器周围环境的温度梯度: 1 °C/h，2 °C/24h，1 °C/m

◇ 供气系统
最小供气压力 : 0.5 Mpa
耗气量: 120 L/min

◇ 供电系统
电压: 220 V ± 10%
耗电量: 2000W
电流: 15 A
用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆