昊志机电亮相第六届深圳国际半导体展(SEMI-e)
- 2024-07-02 11:21:584148
【机床商务网栏目 企业参展】2024年6月26日 ——第六届深圳国际半导体展览会(简称SEMI-e)在深圳会展中心盛大启幕。本届展会的展出面积达60,000平方米,吸引了超过800家展商参展,预计将有逾60,000名行业专家与观众莅临现场,共同探索在人工智能、物联网、5G通信、新能源汽车等领域中半导体技术的崭新应用与未来趋势。
昊志机电在6号馆的6H18展位上,展示了一系列精心打造的产品:划片机主轴、高精度磨外圆电主轴、气浮超精密晶圆研磨电主轴、晶圆超精密检测空气静压转台以及伺服驱动器和直驱电机等。旨在为客户提供半导体等领域核心功能部件解决方案。
PART.01
匠心产品介绍
01
刚度与承载力优于竞品达14.3%
划片机主轴系列
01
高刚度
主轴采用创新型结构设计,刚度与承载力较市场同类产品显著提升14.3%,能够满足硅晶圆、封装基板、石英玻璃和陶瓷等材料的加工需求。
02
高精度
采用高精度接口设计,锥面跳动≤0.5μm,刀座装刀面的径向跳动和轴向窜动均≤1μm,主轴连续加工时伸长量波动≤0.3μm,达到国际先进水平,确保高加工精度和高良品率。
03
高可靠性
优化主轴防水、防尘性能,电机防护等级IP67,采用优质碳刷材质,连续工作长达6525小时,增强耐用性,减少维护成本和停机时间,延长设备寿命,提升投资回报率。
04
高性价比
与专业变频器厂家合作,为电主轴匹配最佳驱动参数,温升降低16.7%,整合资源后,我们能够为客户节约30%的采购成本,提供了具有高性价比的解决方案。
02
高精度、高刚性、超强密封 晶棒加工利器
高精度磨外圆电主轴
![图片](https://img56.jc35.com/9/20240702/638555158563371457823.jpg)
01
高精度
内、外砂轮座外圆与端面全跳动≤5um,内砂轮座重复定位精度≤1um,主轴振动≤0.5mm/s,加工出来尺寸公差控制在0.002mm以内,具有无与伦比的高精度的特性。
02
多功能
主轴配备两个可控制伸缩的砂轮座,实现内、外砂轮工况切换。
03
高刚性、大承载
外轴采用短跨距设计,配置大尺寸、大球径轴承;内轴则采用大轴径轴系设计,并配置多层轴承支撑;主轴配置额定功率17.6kW、额定扭矩48Nm、最高转速4000rpm的永磁电机,使主轴具有高刚性、低振动、高承载能力的特点。
04
超强前端密封
前端密封设计采用迷宫密封、气幕密封与骨架油封相结合的方式,确保在0.2MPa的气封条件下,能完全阻止异物进入主轴,主轴的防护等级达到IP65。
03
低振动、高刚性、高承载 半导体超精加工
高精度晶圆倒角机主轴
![图片](https://img49.jc35.com/9/20240702/638555158786269198628.jpg)
01
高刚性、低振动
主轴采用创新型结构设计,具有低振动(全转速振动≤0.6mm/s)、高刚性(刚度≥12N/μm)、高承载(承载力≥200 N)的优势,能够轻松应对晶圆的倒角加工。
02
高精度
通过结合气体静压轴承的均化效应和极高的零件加工精度,实现了比滚珠轴承电主轴更高的静态和动态精度(低至200纳米)。
03
高可靠性
采用螺旋冷却结构,主轴保持恒温加工,各项性能稳定可靠,这不仅显著延长了主轴的使用寿命,降低了维护成本,更带来了无与伦比的长时间稳定生产能力。
04
回转运动误差,低至20纳米
气浮超精密晶圆研磨电主轴
![图片](https://img51.jc35.com/9/20240702/638555159159691393630.png)
01
高性能电机
主轴配备高性能交流永磁同步电机,连续额定输出扭矩可达13.5N•m,强劲扭力轻松应对碳化硅等超硬材料的加工需求。
02
高效率冷却系统
三段式冷却结构提升冷却效率,温升小,热稳定时间≤20min,热伸长波动≤100nm。非接触式轴芯中心出水结构和砂轮冷却流道同时冷却轴芯和砂轮,提高加工过程中的精度保持和表面处理质量,减少因温度波动导致的加工误差。
03
高加工质量
主轴全转速振动≤0.1mm/s,轴向刚度450N/μm,径向刚度150N/μm,回转运动误差低至20纳米,使得8英寸工件研磨后表面TTV≤3μm,粗糙度Ra≤0.02μm,保障了晶圆等产品的高质量加工。
05
连续额定输出扭矩可达18N•m高性能主轴
气浮超精密晶圆研磨电主轴
![图片](https://img53.jc35.com/9/20240702/638555159438564576525.png)
01
高性能电机
主轴配备高性能交流永磁同步电机,连续额定输出扭矩可达18N•m,强劲扭力轻松应对碳化硅等超硬材料的加工需求。
02
高效率冷却系统
三段式冷却结构提升冷却效率,温升小,热稳定时间≤20min,热伸长波动≤100nm。非接触式轴芯中心出水结构和砂轮冷却流道同时冷却轴芯和砂轮,提高加工过程中的精度保持和表面处理质量,减少因温度波动导致的加工误差。
03
高加工质量
主轴全转速振动≤0.1mm/s,轴向刚度800N/μm,径向刚度200N/μm,回转运动误差低至20纳米,使得12英寸工件研磨后表面TTV≤3μm,粗糙度Ra≤0.02μm,保障了晶圆等产品的高质量加工。
06
最高转速达到4800rpm 晶圆超精密检测空气静压转台
![图片](https://img55.jc35.com/9/20240702/638555159684561996273.png)
01
非接触式真空吸
气浮套上设计有独特的槽型空腔结构和采用小间隙密封结构,实现了非接触高速真空吸功能,避免了转台使用接触式旋转接头后对精度产生的影响。
02
快速启停
转台配备的高性能电机可持续输出8N.m的扭矩,并且对轴芯进行高精度动平衡后,转台可实现2S内直升4800rpm并达到转速稳定,提高检测效率。
03
高定位精度
转台兼顾最高4800rpm的同时,定位精度≤士20urad(≤士4.12”),重复精度≤士10urad(≤士2.06”)。
07
定位精度达±2.5”高性能转台 高精密晶圆研磨机转台
![图片](https://img52.jc35.com/9/20240702/638555159867843995801.png)
01
高精度
我司具备轴芯、轴承等零部件的超精密加工能力,加上液体油膜固有的“误差均化效应”使得液体动静压转台具有超高回转精度(小于0.1μm)。搭配光栅编码器,定位精度可达±2.5”,重复定位达±1”。
02
高性能
配置三相交流永磁同步电机,功率1.3kW,最高转速142rpm,动态响应快。采用气动钳夹,增强了锁紧力矩和结构稳定性,确保了在生产过程中的高品质和可靠性。
03
高稳定性
采用液静压轴承,轴芯油膜悬浮实现无磨损运行,延长设备的使用寿命,油膜吸振减少转台振动,赋予了设备高刚性和加工稳定性等突出特点,显著提升了产品的加工能力。
08
伺服驱动器+直驱电机
![图片](https://img56.jc35.com/9/20240702/638555160255394256528.png)
01
驱动器
高带宽、高采样频率、高响应速度;智能参数自整定,机械振动抑制能力;支持多种编码器反馈协议和多种控制方式,方便的自整定功能,电流环周期62.5us,速度/位置环周期500us。
02
微型对位台
结构紧凑尺寸小;直线导轨负载大;驱动力响应快;纠偏对位精度高。
03
IC高速分选
用于芯片设计检验段和成品终测(FT)环节,是终测环节重要检测设备之一;16-24个工位/旋转角度:15°~22.5°,测试时间:35~60ms,产能:20~60K/h。