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　　【机床商务网栏目 国内新闻】本期我们要介绍的是石英玻璃多面棱镜的加工案例，石英玻璃多面棱镜是应用在光刻机投影物镜中的精密部件。
 

　　光刻机是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，再通过刻蚀、检测，完成芯片的制造。
 

　　以iPhone 14 Pro搭载的A16芯片为例，其制程只有4nm，要在一颗如此小的芯片上用光线刻画出精密复杂的电路图形，就需要对光线的能量、形状进行极其精准的控制。因此，光刻机中，在掩膜版和晶元之间会设置一组由几十块镜片组成的光学组件——投影物镜，来对刻蚀光进行进一步的修型，同时补偿各种光学误差，以确保印刻在晶元表面的电路图形精确无误。石英玻璃多面棱镜就是光刻机投影物镜中的精密部件之一。今天，我们就来揭秘石英玻璃多面棱镜高质量加工的解决方案，请往下看!
 

　　加工工件：石英玻璃六面体
 

　　工件尺寸：16x16x10mm
 

　　加工成品：石英玻璃多面棱镜
 

　　1、加工难点
 

　　石英玻璃多面棱镜作为应用在光刻机投影物镜中的精密部件，对精度的要求十分严苛。当客户使用传统加工方案对石英玻璃多面棱镜进行加工时，易崩边，加工后的多面棱镜表面粗糙度差，无法达到要求，导致工件容易报废;且抛光余量大，使得加工成本大大增加。
 

　　2、加工方案
 

　　对此，汇专采用的加工方案是使用直线轴重复定位精度达4μm、旋转轴重复定位精度达5角秒的超声绿色五轴联动加工中心ULV200-5AXIS对多面棱镜进行加工，机床配置自主研发的HSK-E32超声主轴，加工过程中使用超声辅助加工技术，从而实现提升加工效率、延长刀具寿命、改善工件表面质量。
 

　　ULV200-5AXIS
 

　　设备参数及特点：
 

　　X/Y/Z轴加工行程250x250x250mm，A/C轴±125°/360°
 

　　X/Y/Z轴定位精度5μm，重复定位精度4μm
 

　　A/C轴旋转定位精度8角秒，重复定位精度5角秒
 

　　A/C轴配置直驱转台，传动无背隙，精度高、动态性能更佳
 

　　工作台直径200mm，最大负载可达30kg
 

　　配置汇专HSK-E32超声主轴，最高转速达36,000rpm
 

　　一体式床身铸件设计，刚性高，精度更稳定
 

　　具备五轴联动、RTCP刀尖跟随功能
 

　　标配高精密光栅尺，实现全闭环控制
 

　　标配西门子840D sl系统
 

　　适用于硬脆材料(蓝宝石、玻璃、陶瓷等)、碳纤维复合材料、金属材料及其他难加工材料的加工
 

　　3、加工效果
 

　　使用汇专加工方案后，多面棱镜的加工表面粗糙度均匀，可达镜面级，Sa<70nm，极大地降低了表面抛光后尺寸的控制难度，达到工件加工表面精度的要求，客户对本次加工效果也表示满意!
 

　　(来源：汇专科技)