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wyko nt9100光学轮廓仪-参数、特点、功能、应用 -veeco华东总代理

nt9100光学轮廓仪是一款使用便利、性能，性价比高的非接触无损伤三形貌维测量仪器。wyko的第九代系统采用*的双led照明光源技术，能够更好的检测超光滑表面及非常粗糙的表面；它的测量范围可达亚纳米级粗糙度到毫米级的台阶高度。作为第九代白光干涉仪的桌面机台，nt 9100同样具有大机台才有的优点：简单易用的操作方式、快速数据获取能力、强大的软件功能及埃级的重现性等。同时，可选配的x-y自动平台，使nt9100具有程序化处理样品的功能。

wyko nt 9100光学轮廓仪是一款便捷的、精确的、实用的非接触三维形貌测量系统。作为第九代系统，它采用已申请的双光源照明技术，同时实现了对超光滑表面和粗糙表面进行非接触表征，应用范围涵盖了亚纳米量级粗糙度测量到毫米尺度台阶高度测量。作为行业内的及重现性的桌面式机台，nt9100可满足研发、磨损分析、失效分析及工艺控制等领域的需求。

作为nt 9000光学轮廓仪系列的台式型号，nt9100具有许多和大型机台一样的优点，包括：测量设置简单易学，高速数据采集能力，强大的数据分析能力以及0.1纳米量级的测试重复精度。可选配的x-y自动样品台使nt9100实现程序化，这是在wyko桌面式轮廓仪系列的*应用。

nt9100的量测性能与其他nt9000系列产品相当，但其较小的尺寸及灵活的配置为用户将来的发展提供了基础。系统包含了完整版的vision分析软件，该软件是行业内功能zui全的分析软件，可实现二维和三维的数据分析及可视化功能。vision软件为用户提供了200余种分析工具，包括自动测序功能、数据记录和实时反馈及统计控制过程的合格/不合格标准。用户采用可选的matlab® 软件包还可以定制专门的数据分析用户界面。

创新点

1.采用高寿命绿光及白光leds
2.垂直测量范围达0.1nm至10mm
3.垂直扫描速度zui快可达24微米/秒
4.光学分辨率zui小可达0.49微米
5.可选配x-y自动样品台

技术参数

1、纵向扫描范围：0.1nm~1mm （标配）
2、zui大扫描速度：24um/s
3、样品台尺寸：100mm