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MOCVD设备尾气处理用颗粒过滤器的主要作用是捕捉和过滤尾气中的颗粒物，减少有害物质的排放，保护环境和操作人员的健康。
颗粒过滤器通过物理拦截和化学吸附的方式工作。具体来说，过滤器内部采用多种过滤机制，包括扩散沉淀、惯性沉淀和线性拦截等，这些机制共同作用，确保废气中的微粒物质能够被有效捕集1。此外，过滤器还会通过氧化反应将颗粒物分解，实现过滤器的再生1。
颗粒过滤器有多种类型，如壁流式、深度过滤式和流线式等，每种类型都具备的优点和适用场景。汽车制造商根据车型和使用环境，精心挑选的解决方案，以满足严格的排放标准
