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您是否想要采购半绝缘型8英寸碳化硅衬底和导电型8英寸碳化硅晶片,不妨了解下恒迈瑞公司,专业生产供应碳化硅衬底晶片,尺寸涵盖2英寸4英寸6英寸及英寸,既有测试D级,研究R级也有产品P级碳化硅衬底。我司与国内外半导体公司及实验室合作多年,对客户给予价格支持,欢迎有需求客户询价。
从碳化硅粉末开始,通过单晶生长,成为锭,然后通过切割抛光工艺进入衬底,衬底延伸延伸,然后通过光刻、沉积、离子注入等步骤制作设备结构晶圆,晶圆变薄退火成晶片,包装试验后,是碳化硅功率设备,最终设备形成电力电子设备并应用。
PVT法(物理气相传输法)
这是最主流的生长方法。原理:石墨坩埚腔体内,电感线圈加热,发生涡流作用,石墨发热体加热,温度上升至2000摄氏度以上,底部的高纯碳化硅分解成原子、分子等气相物质,又在温度梯度的作用下,向低温区输送,在碳化硅籽晶上形核成晶;