LED蓝宝石衬底减薄机
产品名称:
LED蓝宝石衬底减薄机 高速横向减薄机
主要用途:
非常适合于工件硬度比较高,厚度超薄,且加工精度要求高的产品。如:LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片等各种材料的快速减薄。
工作原理:
1.本系列横向研磨机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损,而且磨削均匀生产效率高。
特 点:
1.可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
2.减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。硅片每分钟可减薄250um。
3.系列研磨机采用CNC程控系统,触摸屏操作面板,
技术参数:
型 号 | HD-150LX | HD-180LX | HD-200LX | HD-230LX |
金刚石磨轮尺寸 | φ150×H25 | φ180×H25 | φ200×H30 | φ230×H30 |
大工件尺寸 | φ150mm | φ180mm | φ200mm | φ230mm |
磨轮转速(可调) | 0---1000rpm /分钟 | 0---1000rpm /分钟 | 0---800rpm /分钟 | 0---800rpm /分钟 |
工件转速(可调) | 0---2000rpm /分钟 | 0---2000rpm /分钟 | 0---1800rpm /分钟 | 0---1800rpm /分钟 |
磨轮电机功率 | 1.5KW. 380V 3相 | 1.5KW. 380V3相 | 2.2KW. 380V 3相 | 2.2KW. 380V 3相 |
真空主轴电机功率 | 0.75KW. 380V3相 | 0.75KW. 380V3相 | 1.1KW. 380V3相 | 1.1KW. 380V3相 |
控制精度(平行度) | 1um(φ100mm) | 1um(φ100mm) | 1um(φ100mm) | 1um(φ100mm) |
外形尺寸 | 1200×550×1550 | 1200×550×1550 | 1350×600×1600 | 1350×600×1600 |
重 量: | 850kg | 980kg | 1100kg | 1300kg |