QFHDS-XY系列平面式气浮运动台-机床商务网

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QFHDS系列平面式气浮运动台应用领域

采用有限元分析优化的气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提高动态性能，用于晶圆加工及检测、大尺寸飞秒激光加工、测试测量等行业。

QFHDS系列平面式气浮运动台结构特点

龙门平面气浮采用瑞邦精控技术，小孔节流和多孔气浮相结合的方式，极大提高系统的刚度和稳定性。平面式气浮结构，使XY轴运动结构共面，反馈传感器在同一个水平面，相当于单轴运动，减小因叠层引起的阿贝误差。此结构具有高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮结构，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现高速运动和快速的位置整定。

精度性能

采用无铁芯直线电机驱动，交叉解耦控制算法保证双驱轴的运动同步，气浮导轨实现无摩擦、无振动地平滑移动，重复定位精度±50nm，直线度±0.1μm，平面度±0.2μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec满足超精密加工或测量，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。

线缆管理

使用高质量的无尘线缆，优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，更适合在洁净车间内使用。

定制化

根据应用可安装转台或晶圆装卸用的夹具。气浮导轨可定制陶瓷材质，重复定位精度±15nm。可选用激光尺或激光干涉仪闭环反馈，提升精度性能。可提供抱闸功能，适合高抖动要求的应用。

规格指标

型号		单位	QFHDS-300-300		QFHDS-500-500		QFHDS-800-800
轴系		—	X	Y	X	Y	X	Y
行程		mm	300	300	500	500	800	800
补偿后定位精度	Plus (1)	μm	±0.1		±0.25		±0.25
	标准值		±0.2		±0.5		±0.5
双向重复定位精度	Plus (1)	μm	±0.05		±0.075		±0.1
	标准值		±0.1		±0.15		±0.15
直线度 (2)	Plus (1)	μm	±0.05		±0.1		±0.2
	标准值		±0.5		±1		±1
平面度 (2)	Plus (1)	μm	±0.2		±0.25		±0.3
	标准值		±0.5		±1		±1
Pitch Roll Yaw (2)	Plus (1)	arc sec	±0.5		±1		±1
	标准值		±1		±1.5		±1.5
正交性	Plus (1)	arc sec	2
	标准值		5
电子分辨率 (3)		nm	0.3 或 5（选配）
速度 (空载) (4)		m/s	1
加速度 (空载) (4)		m/s²	5,（10, 20, 30 定制）
负载		kg	50

注：以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下指标，速度和加速度取决于负载大小。