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相干公司準分子雷射 EnergyMax 傳感器專門針對搭配 ArF雷射（193 nm 時）使用以及搭配 KrF雷射（248 nm 時）使用進行了優化。準分子雷射EnergyMax 系列傳感器具有高精度以及大有效面積（ 50 mm），並利用創新塗層而具備出色的長期防損性。EnergyMax 系列包括四個不同型號，其中兩個型號針對193 nm 時的工作進行了優化，還有兩個專門用於248 nm（儘管所有型號都能夠準確地測量紫外線、可見光和近紅外線）。這些傳感器利用我們新的 MaxUV 塗層，該塗層在深紫外線波長上具有高損壞閾值，並且在長期暴露於紫外線中時具有出色的抗性，並且可以高達 400 Hz 的重複頻率工作。這些傳感器採用了 MaxUV 塗層，在長時間紫外線暴露時該塗層可在深紫外線波長上提供高抗損性以及抗漂移性。 EnergyMax 系列產品也是“智能”傳感器，並採用了板載電子器件，可自動針對環境溫度進行修正，還具有內建波長補償因子。這些傳感器兼容 Coherent LabMax-Pro SSIM、LabMax-TOP、FieldMaxII-TOP 和 FieldMaxII-P 儀表。還提供支持 USB 和 RS232 的型號。所有準分子傳感器可使用選配的散熱器，這些散熱器可由用戶方便地附接以擴展能量或平均功率範圍。這些散熱器特別可讓J-25MUV-193 和-248 傳感器在高達18 W 的平均功率下使用，並可讓J-50MUV-193 和-248 傳感器在高達43 W 的平均功率下使用（均在193 nm 時）。
準分子雷射EnergyMaxSensorsB 主要參數：

波長範圍：
能量範圍：

準分子雷射EnergyMaxSensors 特點：

的 MaxUV 塗層提升損壞閾值、長期紫外線暴露抗性，並且讓工作具有高重複率
在 190 nm 到 2.1 µm 的範圍內工作
支持從 50 µJ 到 250 mJ 的脈衝能量測量
以高達 400 Hz 的重複率測量單次發射
內建在每個裝置中的光譜補償特性
板載傳感器提供自動溫度補償

準分子雷射EnergyMaxSensors 系列規格：

PN
1110741	J-25MUV-193	50µJ-100mJ, 400 Hz, 25mm energy sensor with MaxUV coating for 193nm (RoHS)
1110745	J-25MUV-248	125µJ-250mJ, 400 Hz, 25mm energy sensor with MaxUV coating for 248nm (RoHS)
1146237	J-50MUV-193	125µJ-250mJ, 200 Hz, 50mm energy sensor with MaxUV coating for 193nm (RoHS)(w/o Diffuser)
1110575	J-50MUV-193	125µJ-250mJ, 200 Hz, 25mm energy sensor with MaxUV coating for 193nm (RoHS)
1110572	J-50MUV-248	500µJ-1J, 200 Hz, 50mm energy sensor with MaxUV coating and diffuser for 248nm (RoHS)
1146243	J-50MUV-248	500µJ-1J, 200 Hz, 50mm energy sensor with MaxUV coating for 248nm (RoHS) (w/o Diffuser)