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KOSAKA 轮廓仪 | 轮廓形状测定机

轮廓形状测定机EF651D产品参数

测定范围	Z:60mm X:100mm
测定精度	士(0.8+2H/100)um
触针/测定力	R25um 30mN以下
测定角度	上坡77° 下坡87°
解析	要素解析/方位向量/MASTER比较/ 滚珠螺杆/非球面解析
分解能	Z:0.025um
直线度精度	1.0um/100mm

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