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辅助影像测量仪完成一些特殊尺寸的测量，包括：
1.测量高度：利用测量头可以测量高度的特性来测量工件表面的高度差；
2.测量球体、柱体：利用测量头的多方向点接触可测量到影像量不到的位置；
3.测量平面度：利用测量头可以测量高度和速度快的特性来快速测量工件表面的平面度。
多种触发力，使测头性能能够*符合测量需求。
模块 | SF 标准测力 | MF 中测力 | EF 高测力 | Vertex 261 | Vertex 341 | Vertex 342 | Excel 511 | Excel 512 | Excel 701 | Excel 702 | Excel 704 |
TP20-2 | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP20-4 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | |||||
TP20-4+ | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP20-6 | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP20-6+ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | |||||
TP200-2 | √ | √ | √ | √ | |||||||
TP200-4 | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP200-4+ | √ | √ | √ | √ | |||||||
TP200-6 | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
TP200-6+ | √ | √ | √ | √ |
备注：
1. TP20-SF标准测力：XY: 0.08N/Z: 0.75N
TP20-MF中测力：XY: 0.1N/Z: 1.9N
TP20-EF高测力：XY: 0.1N/Z: 3.2N
TP200-SF标准测力：XY: 0.02N/Z: 0.07N
2. 探针精度依照测针尺寸不同而定。
3. TP20和TP200不可同时用于同一置换架。
1. 影像测量系统与接触式探针系统相结合，适用于Vertex和Excel系列机型
2. 多种测头模块，满足各种测量应用的需求
3. 多座探针置换架，快速自动更换测头，无需重新校正
4. InSpec软件提供直观的测头装配接口，自动测头校正和探针置换架
InSpec测量软件包含了3D接触式探针的功能，将探针及影像系统整合。
在InSpec软件中，接触式探针的使用相似于任何影像工具的使用。
软件界面
