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红外元件、系统的面型和波像差的测试

1、测试结构：斐索干涉卧式结构；
2、光源波长：可选780nm/1030nm/1064 nm/1053nm/3.39µm /10.5µm；
3、有效测试口径≥Ф130mm；
4、平面透射标准镜（TF）：面型PV优于λ/20（＠632.8nm）；
5、软件分析系统：可输出峰谷值（PV）、标准偏差（RMS）、等高图、X-Y剖面图、三维立体图、干涉条纹图、MTF(光学传递函数)、PSF(点扩散函数)，泽尔尼科多项式分析、赛德尔相差分析，PVr分析、、ISO10100-5对比分析等。