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| 型号 | CCI |
| 测量方法 | 相关相干干涉（CCI） |
| Z轴分辨率 | 0.01nm |
| Z轴测量范围 | 2.2nm |
| RMS重复性 | ＜0.02nm |
| 测量面积（X.Y） | 6.6x6.6mm |
| 特点 | 非压电陶瓷闭环Z轴控制，提高精度，不易损坏 |
| 应用范围 | MEMS, 芯片，膜厚，镜头和玻璃表面分析，磨损测试和摩擦学，材料分析，太阳能电池，等 |
