11
品牌
生产厂家厂商性质
成都市所在地
成像质量良好，结构简洁
卧式结构，双端口测量
操作方便，使用简单
波长调谐式条纹分析系统
双端口检测
大口径平面元件面型检测
光学材料均匀性测量
平行平板元件多表面测试
元件面型分析，光学数据处理
序号 | 指标名称 | 指标水平 |
1 | 测试方式 | 双端口卧式结构 |
2 | 有效测试口径 | 大端口≥Φ600mm；小端口≥Φ100mm |
3 | 相移方式与测试波长 | 波长调谐光源，波长632.8nm（可选1064nm,1053nm等） |
4 | 调焦 | 光瞳调焦范围大于±2.0m |
5 | 变焦 | 1X光学变焦+50X数字变焦 |
6 | 探测器 | 分辨率≥1.2K×1.2K 或≥2.3K×2.3K 或≥3.4K×3.4K |
7 | 仪器传递函数（ITF） | ＞0.70 @ 0.6 cycles/mm |
8 | φ600mm标准楔形镜（TF镜） | PV优于λ/15,RMS优于λ/80，PSD1小于0.70nm |
9 | φ600mm标准反射镜（RF镜） | PV优于λ/15,RMS优于λ/80，PSD1小于0.70nm |
10 | 系统空腔精度 | PV优于λ/14,RMS优于λ/80，PSD1小于0.70nm |
11 | 系统重复性精度 | RMS重复性精度：＜λ/2000（2σ） |
12 | 系统稳定性 | 24小时测试，系统空腔精度与重复性均达到第10,11项精度指标 |
13 | 系统可靠性 | 平均工作时间大于1000小时，连续工作时间大于48小时 |
14 | 分析系统 | QPS快速抗振波长调谐随机相移分析系统 |
15 | 平行平板分析 | 多波长扫描平行平板分析功能，厚度范围1mm-5m |
16 | 材料光学均匀性分析 | 四步法材料均匀性测量分析 |
17 | 测试对准方式与角度 | 快速对准角度＞±15°，测试操作时间小于2min |
18 | 测试工装 | 两维角度调节，一维平移调节，气浮大范围调节 |
