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3d光学轮廓仪检测仪器设备不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪，还可对LED衬底、红外观察窗口、超精密工件、微机电系统等进行超精密检测，在民用领域也有着广泛应用。

自动拼接功能的使用，即不管是在光滑还是粗糙、平面亦或是异形结构，当必须测量超出适配镜头下的单视场区域时，都可以采用自动拼接，而中图仪器SuperView W1 3d光学轮廓仪检测仪器设备，可根据不同表面特点进行重建算法的切换，无论何种形貌，都可生成“天衣无缝"的3D全景。

金属光滑凹面轮廓测量

手机配件表面粗糙度轮廓测量

金属片磨损分析

现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量。白光干涉仪实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。

SuperView W1 3d光学轮廓仪检测仪器设备参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司