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数字式流量开关 PFM7

	・对应氩气（Ar）、二氧化碳（CO2）、混合气体（Ar＋CO2）。・可实现保护气体的流量管理、数值管理。・设定小单位：0.01L/min。・重复操作精度：±1%F.S.。・无润滑脂。・将流量调节阀一体化（省配管、省空间）。・响应时间：可选择50ms、0.5s、1s、2s。

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系列	适合流体	额定流量范围（L/min）
PFM7	干燥空气、N2、Ar、CO2	0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50）（　）为CO2的值
PFM7-X731	对应Ar＋CO2的混合气体	0.2～7 0.5～25 0.5～20 1.0～50 1.0～40 2～100 2～90 2～80

数字式流量开关PFM7

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PFM7
PFM7-X731

高精度数字式压力开关 ISE30A

	・可实现保护气体的压力管理和数值管理。・对应氩气（Ar）、二氧化碳（CO2）、混合气体（Ar＋CO2）。・3步设定。

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系列	种类	额定压力范围
ISE30A	正压	－0.100～1.000MPa

高精度数字式压力开关ISE30A

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ISE30A