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磁控溅射卷绕镀膜机

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2021-03-15 17:13:53
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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介
磁控溅射卷绕镀膜机
详细内容

产品简介:磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备,适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜(铜,铝等)功能性薄膜,设备采用*的磁控溅射镀膜技术,配备直流、射频磁控溅射系统,适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

技术参数

卷膜条件

镀膜材料PET 和无纺布

适用制膜:软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

基材厚度125~300μm

有效镀膜宽幅≤800 mm

大卷绕直径Φ400 mm

卷绕芯轴内径4 寸

基材卷绕速度1~2 m/min

基材卷绕张力30 ~ 200 N

张力系统交流伺服

溅镀方式单面

真空条件

极限真空(空载、洁净)8×10-4Pa

恢复真空时间(空载、清洁)105Pa ~ 5×10-3Pa≤60 min

系统真空漏率1.0×10-10 Pa.m3/s

磁控溅射阴极数量3 个

膜均匀性偏差≤±10%

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