配有多种参数。评估型表面粗糙度测量仪同时配置分析功能。
● 装置配备FORMTRACEPAK表面粗糙度/轮廓分析程序。
● 标配高分辨率的Z1轴检出器，高显示分辨力为0.0001µm(测量范围为8µm时)。
● X轴驱动装置装配高精度玻璃光栅尺，实现X轴方向移动的高精准定位。 SV-3200
系列为驱动装置采用陶瓷导轨以提高抗磨性，延长使用寿命。
● X轴的分辨力为0.05µm。
● 标准或低测力检出器(4mN/0.75mN)的选择，无需考虑设备本体是否有装配倾斜
装置。
● Z2轴(立柱)的700mm型上市。
