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白光干涉仪采用白光干涉测量传感器，其垂直分辨率可达0.1nm详细技术参数：测量原理:白光干涉测量；测量物镜10X 20X 50X垂直测量范围：100um(400um可选)垂直分辨率 0.1nm；X,Y测量范围:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm；工作距离：3.6mm 3.6mm 1.7mm侧向分辨率2.5um 1.25um 0.5um 白光干涉仪

白光干涉仪

详细技术参数：

测量原理 白光干涉测量

测量物镜 10X 20X 50X

垂直测量范围： 100um(400um可选)

垂直分辨率 0.1nm

X,Y测量范围： 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm

工作距离： 3.6mm 3.6mm 1.7mm

侧向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um
白光干涉仪