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　　美国ZYGO激光干涉仪DynaFiz

　　新型的ZYGO DynaFiz激光干涉仪是特别设计为在有空气湍流和极点振动的环境中进行精确的光学计量的优化的光学仪器。DynaFiz 光学系统的长寿命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相机的高速快门能够“凝结”振动。这种动态才能提供了 在恶劣的环境中，传统的时刻相移技能不可能完成的可靠的测量。

　　测长机系统：

　　◆测量功用：精密测量各种反射面和光学体系的表面面形、精密测量光学体系的传输波前

　　◆测量技能：DynaPhase动态测量技能；可选形式：机械相移测量（PSI）

　　◆校准体系：

　　◆动态形式：DyanaPhase 对准向导校准；

　　◆移相形式：快速条纹采样体系(QFAS) (双光点定坐落十字线)

　　◆对准视场范围FOV ：±3°

　　◆测量光束直径： 4″（102mm）

　　◆光学中心线 ：4.25″（108mm）

　　◆激光光源：大功率稳定氦-氖激光，IIIa 级

　　◆波长： 633 nm

　　◆频率稳定度： < 0.0001 nm

　　◆相干长度 ：＞100m

　　◆成像分辨率：1200 x 1200 像素

　　◆帧速：50Hz（600 x 600 像素：82Hz）

　　◆数据形式：10位

　　◆扩大：电控塔台切换，1X,1.7X,3X

　　◆偏振：挨近圆偏振（1.2：1或者更好）

　　◆光曈调焦范围： ±2m

　　◆无线遥控：聚焦，扩大，校准操控；遥控范围：15m

　　◆计算机和软件：高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO MetroproTM X软件

　　◆安装结构：水平卧式或垂直立式

　　◆附件：参考ZYGO 激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463

　　◆尺度(长x宽x高) ：60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；带移相器长度增加9cm（3.6in.）

　　◆重量 ：≤80lb（36 Kg）；带移相器增加10lb（5kg）

　　◆电源 ：100-240VAC，50/60Hz

　　◆保修期 ：2年

　　技能参数：

　　◆RMS重复性：< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

　　◆RMS波前重复性：

　　动态形式: < 1.0 nm,λ/600 (mean + 2σ)

　　移相形式: < 0.25 nm,λ/2500 (mean + 2σ)

　　◆像素峰值偏差：

　　动态形式:< 2.0 nm, λ/300 (99.5th %)

　　移相形式: < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

　　◆条纹分辨率：

　　动态形式：250 条纹（每种扩大倍率）

　　移相形式：500条纹（每种扩大倍率）

　　◆曝光时刻 ：12usec（zui小）

　　◆数据采样速度： ≤82幅数据图像/秒

　　◆LivePhaseTM ：Zernike拟合剖析的实时相位信息

　　◆相位影像 记录≤82幅/秒过程中的信息，可存储为AVI格式文件和保留原始数据文件

　　◆外部影像：触发器 TTL信号