产品

特点：
1.     结合了光学测量与探针测量的所有优点
2.     专业的SPIP分析软件
3.     适应各种应用领域，无论是大范围扫描还是高精度扫描
 
主要功能及应用：
多种测量功能
精确定量的面积（空隙率，缺陷密度，磨损轮廓截面积等）、体积（孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等）、台阶高度、线与面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。
薄/厚膜材料
薄/厚膜沉积后测量其表面粗糙度和台阶高度,表面结构形貌, 例如太阳能电池产品的银导电胶线
蚀刻沟槽深度，光刻胶/软膜
亚微米针尖半径选件和埃级别高度灵敏度结合，可测量沟槽深度形貌。
材料表面粗糙度、波纹度和台阶高度特性
分析软件可轻易计算40多种的表面参数，包括表面粗糙度和波纹度。计算涵盖二维或三维扫描模式。