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RBZ-SG系列精密Z轴
RBZ-SG系列精密Z轴
产品特点
垂直平升行程可达50mm，整体尺寸结构紧凑，速度可达20mm/s，负载60kg
高精度交叉滚柱导轨，无槽无刷力矩电机，低膨胀系数光栅有助实现纳米级微动步距高可靠性驱动机构，使用寿命长 参考价面议 -
RBN-XY系列双轴精密运动台
RBN-XY系列双轴精密运动台产品特点
紧凑式直驱结构 重复定位精度±50nm
抗蠕动交叉滚柱导轨 直线度和平面度±0.5μm
微动步距≤2nm 参考价面议 -
QFL-XY系列双轴气浮运动台
王欣悦1-8-1；
4-5-6-6；
8702。
QFL-XY系列双轴气浮运动台
产品特点
开式气浮叠层结构 结构紧凑、精度高
重复定位精度±50nm 直线度±0.1μm，平面度±0.15μm 参考价面议 -
QFHDS-XY系列平面式气浮运动台
QFHDS-XY系列平面式气浮运动台 气浮导轨，超高性能精度 重复定位精度±15nm（Sic版）
平面式气浮结构，减小系统误差影响 直线度优于1μm
高速，快速的整定时间 可选光栅或激光尺位置反馈 参考价面议 -
QFR系列气浮转台
王，1-8-1；4-5-66；8-7-0-2。QFR系列气浮转台
产品特点
Ÿ 闭式气浮结构 Ÿ 直驱零齿槽效应
Ÿ 定位精度±0.5arc sec Ÿ 同步跳动误差10nm 参考价面议