芯明天放大机构式压电扫描台?

P78系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。

P78压电扫描台特性：

• Z轴运动 • 开环闭环可选 • 大行程300μm • 闭环重复定位精度高

芯明天放大机构式压电扫描台典型应用

• 显微成像 • 表面检测

• 干涉/计量 • 精密定位

• 生物技术 • 微操作

大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构 采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应 时间。

P78系列压电扫描台可选择配置闭环传感器，对位移实现 实时监测并反馈给闭环压电控制器，实现纳米级精密控制。扫 描台台体中心通孔尺寸64×64mm，适用于干涉、扫描、表面 检测等应用。

闭环重复定位精度高

P78. Z压电扫描台满幅值300μm的闭环重复定位精度为 0.05%。

P78压电扫描台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。